레이저 통합제어시스템을 활용한 웨어퍼 열처리용 마이크로 그래이팅 선형

레지저 광원장치개발

-온도 센서 및 온도 컨트롤러 개발

기계-장비 부품산업과 전기-전자 생산 기반이 우수한 인천지역의 기업과 협력하고 지역 대학의 산업 기술지원을 얻어 대다수의 반도체 제조업체가 위치한 주관기업의 거점인 경기도 내에 고부가 반도체 장비의 핵심 광학 부속장비로 사업 분야를 형성하기 위함이 본 과제를 통하여 연계하고자 하는 목표이다.
이를 위해 광학측정, 광학기기, 부품 관련기술을 보유한 주관 기관과 정밀 전류제어 전원기술, 정밀 온도 측정기술, 메카트로닉스 기술을 보유한 인천 지역의 참여기업, 대학과 협력하여 반도체 전공정중 웨이퍼 열처리에 사용하는 선형 레이저 광원 장치를 개발하고자한다.